CRDS方式レーザー水分計 HALO-H20でのデモ水分測定
CRDS方式レーザー水分計 HALO-H20でのデモ水分測定を行っています。
CRDS方式は近年注目をあびている測定方式です。キャビティ内をレーザーが往復し数kmもの有効長を確保しながら検出物質を検知しているので、非常に高感度で水分を検知する能力があります。
また、この方式は単純に測定セル内の被検知ガスが入れ替わるだけで即座に水分濃度を検知出来るため、水分の吸着、脱着現象はサンプル配管等の水分の平衡が行われれば即座に正しい水分計測が行います。
その点に注目し、NIST、NPL、日本の産総研の微量水分標準供給チームが検証等に採用し始めました。
日本の産総研においても、2007年6月より12ppbレベルまでの標準供給を初めています。
http://staff.aist.go.jp/abe.h/TraceMoisture/std.html
上記のWebサイトの微量水分計測の注意点のページにも記載されているように、1ppm以下の微量水分測定は非常に難しいものであり、簡単には測定出来ないということが最近になって、色々な研究結果や、標準研究の進歩、測定器の進歩等でわかってきました。
今現在水分計や露点計をお使いの方で、数10ppbレベル、-100℃DP近辺の計測結果が出ているアプリケーションの管理者の方々、1度CRDS器での水分計測を行ってみてはいかがでしょうか。
CRDS器の高いレスポンス性能によって今までわからなかった水分量の変化などがわかるかもしれません。（特に半導体関連でバルクガスでの水分測定アプリケーションにおいて。）
測定ガスの種類や、測定条件によって必ずしも全てのアプリケーションのところで測定出来るかどうかはわかりませんが、興味のある方ははお問い合わせ下さい。
CRDS方式の原理に関しては以下のページに詳しい説明があります。
http://staff.aist.go.jp/abe.h/TraceMoisture/meas.html
今までの水分計測管理より一歩進んだ管理を行いたい方是非1度お問い合わせ下さい。
