株式会社テレマックスは、昭和53年の創業以来、露点計や微量水分計、酸素計を使用した水分測定設備、ヤング率測定装置、生産設備機器、計測装置並びにこれらの制御システムの開発製造販売を行っています。
テレマックス 露点計や微量水分計、酸素計を使用した水分測定設備、計測装置並びにこれらの制御システムの開発製造販売を行っている会社です。
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HALO3-H2O

高純度ガス用微量(ppbレベル)水分分析器

HALO3-H2OはHALOの後継機種にあたり、今までの水分分析器では成しえなかった早い応答性と高精度を兼ね備えた水分分析器です。 各国微量水分領域標準機関での採用もされており今後の低湿度領域におけるスタンダード測定器となる可能性を秘めた測定器です。

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HALO3-H2O水分分析器は、Tiger Optics分析器ユーザーの期待に答え、無類の精度、信頼性、応答速度、及び操作容易性を提供します。HALO水分分析器は、Tiger Opticsが特許を取得した「キャビティリングダウン分光法(Cavity Ring-Down Spectroscopy-based)」レーザー式水分センサを、非常にコンパクトで経済的な構造にまとめていることが特徴です。ユーザーは、この多目的分析器たった1台で、大部分の不活性、毒性、及び腐食性ガス内の微量水分を測定することができます。また、ユーザーは、センサの定期メンテナンス、較正間隔、清浄部品の交換、及びポンプの再組み立てから開放されます。これらにより、HALOは、水分測定が極めて重要な多くの用途に最適です。これらの用途には、定量大量ガスの連続的品質管理、スポットチェック水分分析、プロセス・ツールの監視、空気分離、ガス・シリンダの品質管理、その他多くの要求が厳しい用途を含みます。


性能
最小検出限界* : 1.5ppb
感度* : 1.2 ppb
精度* : 測定値の4 %又は±検出限界1/2(どちらか大きい方)
応答速度(標準的)* : 95 %応答で3分未満
動作範囲 : 0~20+ ppm
環境条件 : 10℃~40℃
保管温度 : -10℃~-50℃*窒素ガス中の水分測定時

構造材
構造材 : 316Lステンレス鋼 (オプションでHastelloyR)
接ガス部 : 10 Ra表面仕上げ
ガス接続 : 1/4 M VCR
入口及び出口漏れテスト : < 2×10-8 mbar・l/sec
電気
警報表示 : 設定点はユーザーが設定可能
必要電源 : AC 90~240 V、50/60 Hz
消費電力 : 最大40 W
出力信号 :
-レコーダ 遮断されたDC 4~20 / 0~50 V
-警報 C形リレー
通信 : RS-232、無線(オプション)
ユーザー・インターフェース: 5.6” LCDタッチ・スクリーン
10 Base-T イーサネット、RS-232
寸法
取り付け(H×W×D) : 8.75×8.5×22.5 (22.2×21.6×57.2 cm)
重量 : 28 pounds(12.7 kg)

ガス・サンプル条件
サンプル入口圧力 : 10~125 psig
流量 : 1.5 slpmまで
サンプル・ガス : 大部分の不活性、有毒、及び腐食性ガス
サンプル・ライン温度 : 60℃まで
技術
承認 : CE: LVD & EMC
方法 : キャビティリングダウン分光法(Cavity Ring-Down Spectroscopy)
特許 : 米国特許第5,528,040号 その他特許申請中

 

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