株式会社テレマックスは、昭和53年の創業以来、露点計や微量水分計、酸素計を使用した水分測定設備、ヤング率測定装置、生産設備機器、計測装置並びにこれらの制御システムの開発製造販売を行っています。
テレマックス 露点計や微量水分計、酸素計を使用した水分測定設備、計測装置並びにこれらの制御システムの開発製造販売を行っている会社です。
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腐食性ガス中水分測定

腐食性ガス中水分測定

腐食性ガス中水分測定(Hbr、Cl2)

臭化水素(HBr)ガス中水分測定

臭化水素も塩素と同じく半導体製造において重要な役割をになうガスです。
塩素と同じく毒性を持ち腐食性も有しているため、多くの水分測定センサでの測定を困難にしているガス成分になります。
臭化水素(Hbr)中の微量水分(ppbレベル)測定には現状CRDS(キャビティーリングダウン分光法)レーザー方式を採用しているHALO-H2Oシリーズが、性能及びコストパフォーマンスに優れており、測定セルの材質をハステロイ仕様にすることにより耐久性、応答性、精度を兼ね備えた耐腐食性ガス中微量水分測定器となります。
臭化水素(HBr)中のppbレベルの水分測定に関してご興味のある方はテレマックスまで問い合わせ下さい。

塩素(Cl2)ガス中水分測定

塩素は非常に強い毒性、腐食性を持ったガス特性をしています。
その為多くの水分計測センサは検出部が腐食され測定が困難になります。
テレマックスも様々な種類の水分測定センサを試してきました。その結果現状塩素ガス中の水分測定に適している水分計として五酸化リン方式、レーザー方式を推奨しています。
それぞれの検出限界は五酸化リン方式ですとppmレベル、レーザー方式でppbレベルまでの検出能力があります。お客様の検出要求レベルに合わせてそれぞれを提案しています。
また塩素ガス中の水分測定においては塩素がリークしない等アプリケーション運用上の工夫も必要です。
テレマックスは多くの化学会社様へ塩素測定アプリケーションのお手伝いをしてきました。
お客様で塩素ガス中の水分測定を今後行いたい。今までのppmレベルでの測定をppbレベルまで行いたい等、塩素測定にお悩みに方はテレマックスまでお問い合わせ下さい。